Технология самодиагностики регулятора массового расхода газа

1. Технология самодиагностики Технология самодиагностики заключается в оценке нормального состояния оборудования, причины, местоположения, степени и прогнозирования срока службы отклонения или отказа с помощью различных методов обнаружения и анализа без остановки машины или, по сути, без ее разборки. Основная функция технологии самодиагностики заключается в получении информации о состоянии оборудования, то есть в определении состояния и отклонения продукта в соответствии с комплексным анализом всей информации о состоянии, такой как точность оборудования при различных рабочих условиях, дрейф нуля и внутренние утечки. Характер типа и серьезности аномалий - это процесс, который включает получение сигнала, извлечение информации, синтез информации, идентификацию неисправностей и использование информации. Целью самодиагностики является обеспечение стабильной работы продукта с точки зрения функции, точности, эффективности и надежности. Рисунок 1 Цель самодиагностики 2. Применение технологии самодиагностики в регуляторах массового расхода газа Полупроводниковое оборудование требует высокой точности для регуляторов массового расхода газа. После определенного периода использования традиционных регуляторов массового расхода газа, из-за температуры окружающей среды, газового загрязнения и других причин, точность может выйти за пределы допуска, но из-за ограничений условий обнаружения пользователь не может проверить точность регулятора массового расхода газа. Поэтому необходимо изучить технологию самодиагностики, с помощью которой пользователь может проверить точность регулятора массового расхода газа в любое время. Для повышения функции самодиагностики регулятора массового расхода газа, расход должен быть получен с помощью принципа измерения первичного расхода. Если Qm - это массовый расход газа, кривая изменения давления со временем может быть установлена ​​в соответствии с уравнением изменения давления, температуры и расхода газа, как показано на рисунке 2: Рисунок 2. Кривая изменения давления со временем. С помощью этого рисунка можно установить регулятор массового расхода газа. Соответствующая таблица точности, в процессе самодиагностики сравните с информацией в этой таблице и оцените, находится ли точность системы в требуемом диапазоне, по сходству двух кривых. Технология самодиагностики значительно повышает надежность системы управления массовым расходом газа и улучшает функции системы. 3 Преимущества технологии самодиагностики Используя интеллектуальный анализ технологии самодиагностики, контроллер массового расхода может выполнять интеллектуальное обнаружение, прогнозировать возможный отказ оборудования и автоматически устранять его или выдавать аварийный сигнал на основе прогноза. Этот процесс может обеспечить лучшие экономические выгоды для обслуживания самого продукта. Не только рабочая нагрузка на персонал может быть эффективно снижена, но и результаты самодиагностики могут быть предоставлены всесторонне, а обслуживающий персонал также может отреагировать. Будет сформулирован более полный и эффективный план обслуживания, а обслуживание и реализация будут более идеальными.