Technologie d'autodiagnostic du régulateur de débit massique de gaz

1. Technologie d'autodiagnostic : L'autodiagnostic permet de déterminer si l'état de l'équipement est normal, d'en déterminer la cause, l'emplacement, l'intensité et la durée de vie prévue de l'anomalie ou de la panne, grâce à diverses détections et analyses, sans arrêter la machine ni la démonter. La fonction principale de l'autodiagnostic est d'obtenir des informations sur l'état de l'équipement, c'est-à-dire d'identifier l'état et les anomalies du produit grâce à une analyse complète de toutes les informations d'état, telles que la précision de l'équipement dans diverses conditions de fonctionnement, la dérive du zéro et les fuites internes. La nature, le type et la gravité des anomalies sont un processus qui comprend l'acquisition du signal, l'extraction et la synthèse des informations, l'identification des défauts et leur exploitation. L'objectif de l'autodiagnostic est de garantir le fonctionnement stable du produit en termes de fonctionnalité, de précision, d'efficacité et de fiabilité. Figure 1 : Objectif de l'autodiagnostic. 2. Application de la technologie d'autodiagnostic aux régulateurs de débit massique de gaz. Les équipements semi-conducteurs requièrent une haute précision pour les régulateurs de débit massique de gaz. Après une période d'utilisation des régulateurs de débit massique de gaz traditionnels, la précision peut dépasser les limites de tolérance en raison de la température ambiante, de la pollution gazeuse et d'autres facteurs. Cependant, les conditions de détection étant limitées, l'utilisateur ne peut pas tester la précision du régulateur. Il est donc nécessaire d'étudier une technologie d'autodiagnostic permettant de vérifier la précision du régulateur à tout moment. Pour améliorer la fonction d'autodiagnostic du régulateur, le débit doit être obtenu par la méthode de mesure du débit primaire. Si Qm est le débit massique du gaz, la courbe d'évolution de la pression en fonction du temps peut être établie selon l'équation de variation de la pression, de la température et du débit de gaz, comme illustré à la figure 2. Figure 2 : Courbe d'évolution de la pression en fonction du temps. Cette figure permet d'établir le tableau de correspondance de précision du régulateur de débit massique de gaz. Lors de l'autodiagnostic, comparez les informations de ce tableau et déterminez si la précision du système se situe dans la plage requise grâce à la similarité des deux courbes. La technologie d'autodiagnostic améliore considérablement la fiabilité du système de contrôle du débit massique de gaz et améliore les fonctions du système. 3 Avantages de la technologie d'autodiagnostic En utilisant l'analyse intelligente de la technologie d'autodiagnostic, le contrôleur de débit massique peut effectuer une détection intelligente, prédire la défaillance possible de l'équipement et l'éliminer automatiquement ou effectuer une réponse d'alarme en fonction de la prédiction, ce processus peut obtenir de meilleurs avantages économiques pour la maintenance du produit lui-même, non seulement la charge de travail du personnel peut être efficacement réduite, les résultats de l'autodiagnostic peuvent également être fournis de manière exhaustive, et le personnel de maintenance peut également répondre à Un plan de maintenance plus complet et plus efficace sera formulé, et la maintenance et la mise en œuvre seront plus idéales.