Tecnologia de autodiagnóstico do controlador de fluxo de massa de gás

1. Tecnologia de autodiagnóstico A tecnologia de autodiagnóstico é julgar se o status do equipamento é normal, a causa, localização, grau e previsão de vida da anormalidade ou falha por meio de várias detecções e análises sem parar a máquina ou basicamente não desmontar a máquina. A principal função da tecnologia de autodiagnóstico é obter as informações de estado do resultado do equipamento, ou seja, identificar o estado e a anormalidade do produto de acordo com a análise abrangente de todas as informações de estado, como a precisão do equipamento sob várias condições de trabalho, desvio de zero e vazamento interno. A natureza do tipo e gravidade das anomalias é um processo que inclui aquisição de sinal, extração de informações, síntese de informações, identificação de falhas e utilização de informações. O objetivo do autodiagnóstico é garantir a operação estável do produto em termos de função, precisão, eficiência e confiabilidade. Figura 1 O objetivo do autodiagnóstico 2. A aplicação da tecnologia de autodiagnóstico em controladores de fluxo de massa de gás Equipamentos semicondutores exigem alta precisão para controladores de fluxo de massa de gás. Após um período de uso de controladores de fluxo de massa de gás tradicionais, devido à temperatura ambiente, poluição do gás e outros motivos, a precisão pode estar fora da tolerância, mas devido à limitação das condições de detecção, o usuário não pode testar a precisão do controlador de fluxo de massa de gás. Portanto, é necessário estudar uma tecnologia de autodiagnóstico, por meio da qual o usuário pode verificar a precisão do controlador de fluxo de massa de gás a qualquer momento. Para aumentar a função de autodiagnóstico do controlador de fluxo de massa de gás, a taxa de fluxo precisa ser obtida por meio do princípio de medição de fluxo primário. Se Qm for a taxa de fluxo de massa do gás, a curva de mudança de pressão com o tempo pode ser estabelecida de acordo com a equação de mudança de pressão, temperatura e fluxo de gás, conforme mostrado na Figura 2: Figura 2 A curva de mudança de pressão com o tempo Por meio desta figura, um controlador de fluxo de massa de gás pode ser estabelecido A tabela correspondente de precisão, no processo de autodiagnóstico, compare com as informações nesta tabela e julgue se a precisão do sistema está dentro da faixa necessária por meio da similaridade das duas curvas. A tecnologia de autodiagnóstico melhora muito a confiabilidade do sistema de controle de fluxo de massa de gás e melhora as funções do sistema. 3 Vantagens da tecnologia de autodiagnóstico Usando a análise inteligente da tecnologia de autodiagnóstico, o controlador de fluxo de massa pode fazer detecção inteligente, prever a possível falha do equipamento e eliminá-la automaticamente ou fazer uma resposta de alarme com base na previsão, este processo pode alcançar melhores benefícios econômicos para a manutenção do próprio produto, não apenas a carga de trabalho da equipe pode ser efetivamente reduzida, os resultados do autodiagnóstico também podem ser fornecidos de forma abrangente, e o pessoal de manutenção também pode responder a Um plano de manutenção mais completo e eficaz será formulado, e a manutenção e implementação serão mais ideais.