Tecnología de autodiagnóstico del controlador de flujo másico de gas

1. Tecnología de autodiagnóstico La tecnología de autodiagnóstico es juzgar si el estado del equipo es normal, la causa, la ubicación, el grado y la predicción de la vida útil de la anomalía o falla a través de varias detecciones y análisis sin detener la máquina o básicamente sin desmontarla. La función principal de la tecnología de autodiagnóstico es obtener la información del estado del resultado del equipo, es decir, identificar el estado y la anomalía del producto de acuerdo con el análisis integral de toda la información del estado, como la precisión del equipo en diversas condiciones de trabajo, la deriva del cero y las fugas internas. La naturaleza del tipo y la gravedad de las anomalías es un proceso que incluye la adquisición de señales, la extracción de información, la síntesis de información, la identificación de fallas y la utilización de la información. El objetivo del autodiagnóstico es garantizar el funcionamiento estable del producto en términos de función, precisión, eficiencia y confiabilidad. Figura 1 El objetivo del autodiagnóstico 2. La aplicación de la tecnología de autodiagnóstico en controladores de flujo másico de gas Los equipos semiconductores requieren alta precisión para los controladores de flujo másico de gas. Después de un período de uso de los controladores de flujo másico de gas tradicionales, debido a la temperatura ambiental, la contaminación del gas y otras razones, la precisión puede estar fuera de tolerancia, pero debido a la limitación de las condiciones de detección, el usuario no puede probar la precisión del controlador de flujo másico de gas. Por lo tanto, es necesario estudiar una tecnología de autodiagnóstico, a través de la cual el usuario puede verificar la precisión del controlador de flujo másico de gas en cualquier momento. Para aumentar la función de autodiagnóstico del controlador de flujo másico de gas, el caudal debe obtenerse a través del principio de medición de flujo primario. Si Qm es el caudal másico de gas, se puede establecer la curva de cambio de presión con el tiempo de acuerdo con la ecuación de cambio de presión, temperatura y flujo de gas, como se muestra en la Figura 2: Figura 2 La curva de cambio de presión con el tiempo A través de esta figura, se puede establecer un controlador de flujo másico de gas La tabla correspondiente de precisión, en el proceso de autodiagnóstico, compare con la información de esta tabla y juzgue si la precisión del sistema está dentro del rango requerido a través de la similitud de las dos curvas. La tecnología de autodiagnóstico mejora en gran medida la confiabilidad del sistema de control de flujo másico de gas y mejora las funciones del sistema. 3 Ventajas de la tecnología de autodiagnóstico Usando el análisis inteligente de la tecnología de autodiagnóstico, el controlador de flujo másico puede hacer detección inteligente, predecir la posible falla del equipo y eliminarla automáticamente o hacer una respuesta de alarma basada en la predicción, este proceso puede lograr mejores beneficios económicos para el mantenimiento del producto en sí, no solo la carga de trabajo del personal se puede reducir de manera efectiva, los resultados del autodiagnóstico también se pueden proporcionar de manera integral y el personal de mantenimiento también puede responder a Se formulará un plan de mantenimiento más completo y efectivo, y el mantenimiento y la implementación serán más ideales.