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Por que o controlador de fluxo de massa precisa atender a uma pressão diferencial?

As unidades de vazão mássica de gás são geralmente expressas em sccm (centímetros por minuto padrão, mililitros por minuto padrão) e slm (litros por minuto padrão, litros por minuto padrão). Isso significa que, sob diferentes condições de uso, a vazão indicada por este instrumento é a vazão no estado padrão. O estado padrão é definido como: pressão barométrica — 101325 Pa (760 mmHg); temperatura — 0 °C (273,15 K). Esta é uma diferença importante entre este instrumento e outros medidores de vazão , e é também onde sccm ﹑ slm difere de mL/min ﹑ L/min. Para a maioria dos usuários, o método de expressão da vazão volumétrica é muito comum e fácil de usar, mas alguns usuários precisam saber a massa (como g/min) do meio que flui através da unidade de tempo, e este requisito é fácil de atingir. Como a densidade do gás no estado padrão é uma constante, ela pode ser facilmente encontrada, bastando fazer uma multiplicação (multiplicar a densidade por vários slm) para obtê-la. Portanto, a vazão volumétrica em condições padrão é equivalente à vazão mássica. Deve-se observar que a unidade de vazão mássica sccm/slm comumente usada pelos fabricantes de controladores de vazão mássica não está em conformidade com a unidade internacional de vazão mássica (Kg/min) comumente usada em padrões de medição nacionais, mas está em conformidade com o padrão internacional SEMI da International Semiconductor Association. Por que o controlador de vazão mássica precisa atender a uma diferença de pressão? Muitos clientes acham que o efeito do controle de vazão não pode ser bem alcançado no processo de uso do controlador de vazão mássica (MFC). Em geral, a diferença de pressão do MFC é de 50-300 Kpa, o que significa que a diferença de pressão entre a entrada e a saída não deve ser inferior a 50 Kpa, e o máximo não deve exceder 300 Kpa, pois o MFC possui sua própria válvula proporcional eletromagnética. Se a diferença de pressão for muito pequena, a pressão do gás cairá. A válvula proporcional não pode ser aberta de forma alguma e não pode ser bem controlada se a pressão do gás estiver muito alta. Portanto, os clientes devem primeiro informar as pressões de entrada e saída durante o uso para verificar se conseguem atender à pressão diferencial de 50-300 kPa. É claro que alguns clientes exigem baixa pressão diferencial.

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