Pourquoi le régulateur de débit massique doit-il répondre à une pression différentielle ?

Les unités de débit massique de gaz sont généralement exprimées en sccm (StandardbicCentimeterperMinute, millilitres par minute) et slm (StandardLiterperMinute, litres par minute). Cela signifie que, dans différentes conditions d'utilisation, le débit indiqué par cet instrument correspond à l'état standard. L'état standard est défini comme suit : pression barométrique : 101 325 Pa (760 mmHg) ; température : 0 °C (273,15 K). Il s'agit d'une différence importante entre cet instrument et les autres débitmètres , et c'est également là que sccm﹑slm diffère de mL/min﹑L/min. Pour la plupart des utilisateurs, la méthode d'expression du débit volumique est très courante et facile à utiliser, mais certains ont besoin de connaître la masse (par exemple, en g/min) du fluide s'écoulant pendant l'unité de temps, ce qui est facile à satisfaire. La masse volumique du gaz à l'état standard étant une constante, elle est facile à déterminer ; il suffit donc de multiplier la masse volumique par plusieurs slm pour la calculer. Par conséquent, le débit volumique dans des conditions standard est équivalent au débit massique. Il convient de noter que l'unité de débit massique sccm/slm couramment utilisée par les fabricants de régulateurs de débit massique n'est pas conforme à l'unité internationale de débit massique (kg/min) couramment utilisée dans les normes de mesure nationales, mais est conforme à la norme internationale SEMI de l'association internationale des semi-conducteurs. Pourquoi le régulateur de débit massique doit-il supporter une différence de pression ? De nombreux clients constatent que l'efficacité du contrôle du débit est limitée par l'utilisation d'un régulateur de débit massique (MFC). En général, la différence de pression d'un MFC est comprise entre 50 et 300 kPa, ce qui signifie que la différence de pression entre l'entrée et la sortie ne doit pas être inférieure à 50 kPa et ne doit pas dépasser 300 kPa, car le MFC possède sa propre vanne proportionnelle électromagnétique. Une différence de pression trop faible entraîne une chute de la pression du gaz. La vanne proportionnelle ne peut pas s'ouvrir du tout, et son bon contrôle est compromis si la pression du gaz est trop élevée. Par conséquent, les clients doivent d'abord vérifier les pressions d'entrée et de sortie lors de l'utilisation afin de vérifier leur capacité à supporter une pression différentielle de 50 à 300 kPa. Bien entendu, certains clients exigent une faible pression différentielle.

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