¿Por qué el controlador de flujo másico necesita cumplir con una presión diferencial?

Las unidades de caudal másico de gas se expresan generalmente en sccm (centímetros estándar por minuto, mililitros estándar por minuto) y slm (litros estándar por minuto, litros estándar por minuto). Esto significa que, en diferentes condiciones de uso, el caudal indicado por este instrumento es el caudal en estado estándar. El estado estándar se define como: presión barométrica: 101325 Pa (760 mmHg); temperatura: 0 °C (273,15 K). Esta es una diferencia importante entre este instrumento y otros caudalímetros , y también es donde sccm﹑slm difiere de mL/min﹑L/min. Para la mayoría de los usuarios, el método de expresión del caudal volumétrico es muy habitual y fácil de usar, pero algunos usuarios necesitan conocer la masa (por ejemplo, g/min) del medio que fluye a través de la unidad de tiempo, y este requisito es fácil de lograr. Debido a que la densidad del gas en estado estándar es constante, se puede determinar fácilmente, así que simplemente haga una multiplicación (multiplique la densidad por varios slm) para obtenerla. Por lo tanto, el caudal volumétrico en condiciones estándar es equivalente al caudal másico. Cabe señalar que la unidad de caudal másico sccm/slm comúnmente utilizada por los fabricantes de controladores de caudal másico no se ajusta a la unidad internacional de caudal másico (kg/min) comúnmente utilizada en los estándares de medición nacionales, pero sí cumple con la norma internacional SEMI de la asociación internacional de semiconductores. ¿Por qué el controlador de caudal másico necesita cumplir con una diferencia de presión? Muchos clientes encuentran que el efecto de control de caudal no se puede lograr bien en el proceso de uso del controlador de caudal másico (MFC). En general, la diferencia de presión del MFC es de 50-300 kPa, lo que significa que la diferencia de presión entre la entrada y la salida no debe ser inferior a 50 kPa, ni superior a 300 kPa, porque el MFC tiene su propia válvula proporcional electromagnética. Si la diferencia de presión es demasiado pequeña, la presión del gas disminuirá. La válvula proporcional no se puede abrir completamente y no se puede controlar correctamente si la presión del gas es demasiado alta. Por lo tanto, los clientes deben informarse primero sobre las presiones de entrada y salida durante el uso para verificar si pueden cumplir con la presión diferencial de 50-300 kPa. Por supuesto, algunos clientes requieren una presión diferencial baja.

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