Le débitmètre massique est un instrument de mesure relativement courant, aux applications variées et utilisé dans de nombreux domaines. Il se distingue des autres débitmètres . Il permet non seulement de mesurer le débit de gaz, mais aussi de contrôler l'ensemble du flux. Sa technologie de pointe a été plébiscitée par les utilisateurs. Il est doté d'un écran à cristaux liquides matriciel rétroéclairé avec large plage de températures. Tous les affichages sont en chinois. Il offre de nombreuses fonctionnalités et est pratique. Son utilisation est particulièrement simple et réduit les problèmes et les erreurs. Ne nécessitant aucun préchauffage, il démarre instantanément. Il permet ainsi de contrôler le débit du système de revêtement sous vide en une seconde seulement. Il mesure et affiche en temps réel les paramètres de débit massique, volumétrique, de pression et de température. Les paramètres de débit sont complétés par la température et la pression. Le programme du module gaz s'affiche directement sur l'écran du débitmètre massique, et le type de gaz peut être modifié directement par simple pression sur un bouton. Lors de l'utilisation de régulateurs de débit massique, compte tenu de notre expérience et des conditions d'essai, plusieurs aspects doivent être pris en compte : lorsque les conditions de fonctionnement de l'instrument changent, sa position zéro doit être réajustée. Parallèlement, le conduit de l'instrument doit être installé horizontalement et étalonné avec un niveau. Dans le cas contraire, l'influence des conditions de fonctionnement sur la dérive du zéro sera accrue. Le cadre ne doit pas vibrer ni osciller ; il n'est donc pas adapté à une utilisation sur des navires. Un grand nombre de données d'essai dans la plage de débit sont corrélées, et l'équation de régression linéaire est calculée selon la méthode des moindres carrés. Le coefficient de corrélation λ est compris entre 0,999 et 0,9999, ce qui prouve la bonne linéarité de l'instrument. Cependant, il existe une différence entre linéarité et plage : plus le débit est élevé, plus la non-linéarité est importante. La plage est donc généralement limitée à 0-4 litres standard par heure afin de garantir une bonne linéarité. Afin de mesurer un débit important tout en garantissant la linéarité, le régulateur de débit massique peut utiliser le principe de dérivation pour étendre la plage de mesure de l'instrument. L'utilisation combinée d'un tube de dérivation, d'un tube de Venturi et d'une plaque à orifice permet d'étendre la plage de mesure à des dizaines, des centaines, des milliers de litres standard par heure, voire des dizaines de milliers de mètres cubes standard. Bien que la chaleur spécifique d'un gaz réel varie avec la pression, et que certains gaz connaissent même d'importantes fluctuations, la précision de mesure du régulateur de débit massique reste dans une certaine plage. Lors du choix du matériau du conduit, outre la résistance à la corrosion, il est préférable de choisir des matériaux offrant une meilleure conductivité thermique. Les régulateurs de débit massique et autres instruments doivent fonctionner normalement lorsque la chaleur spécifique du gaz est relativement stable. Or, cette valeur est très faible lorsque la composition du gaz est instable, qu'il y a du brouillard au centre du gaz et que les conditions de fonctionnement sont proches de la zone critique de liquéfaction. En cas d'instabilité, cet instrument ne doit pas être utilisé. En cas de changement de milieu gazeux, il est préférable de procéder à un réétalonnage. Dans le manuel du régulateur de débit massique, il est souvent indiqué qu'aucun réétalonnage n'est nécessaire, mais que seule la chaleur spécifique des deux gaz est utilisée pour convertir le débit de gaz non étalonné. Bien que simple et pratique, cette méthode peut engendrer des erreurs importantes, notamment sous haute pression. Nous avons constaté que la sensibilité du régulateur de débit massique n'est pas nécessairement proportionnelle à la chaleur spécifique, et qu'il doit donc être réétalonné.
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