Características do princípio de funcionamento do controlador do medidor de vazão mássica de gás

Os medidores de vazão podem ser usados ​​para controlar diversos gases limpos e secos, incluindo gases corrosivos e gases especiais, mas para o uso de gases corrosivos e gases especiais, é necessária a seleção adequada de modelos e materiais de vedação. Ao fazer o pedido, o usuário precisa dar instruções especiais ao fornecedor para usar o gás, a fim de evitar perdas graves devido à seleção incorreta ou seleção do material de vedação. Normalmente, o material do controlador de vazão mássica em contato com o gás de trabalho é aço inoxidável 316L, e o material de vedação é dividido em soldagem de metal, politetrafluoretileno e borracha fluorada comum. O MFC com vedação de soldagem de metal pode ser usado para qualquer gás em princípio, incluindo vários gases corrosivos e gases especiais. Para gases corrosivos fortes, como tribrometo de boro, tricloreto de boro e fluoreto de hidrogênio, e gases de óxido metálico usados ​​em MOCVD, é recomendado o uso de um MFC selado com soldagem de metal. O controlador de vazão mássica é composto por um sensor de vazão, um canal divisor de vazão, uma válvula reguladora de vazão e um controlador de amplificação. O sensor controlador de fluxo de massa utiliza o princípio da calorimetria termoelétrica de transferência de calor capilar para medir o fluxo de massa de gás (sem compensação de temperatura e pressão). O sinal de fluxo medido pela ponte de aquecimento do sensor é enviado ao amplificador para amplificação, e a tensão de detecção de fluxo amplificada é comparada com a tensão definida. Em seguida, o sinal de diferença é amplificado para controlar e ajustar a válvula, e o fluxo através do canal é controlado em malha fechada para torná-lo igual à tensão definida. As vazões definidas são iguais. O divisor de fluxo determina o fluxo no canal principal. O instrumento de exibição de fluxo combinado com o controlador de fluxo de massa é equipado com uma fonte de alimentação estabilizada, um voltímetro digital, um potenciômetro de ajuste, equipamento periférico, conversão de equipamento interno e um interruptor de controle de válvula de três posições. O controlador do medidor de fluxo de massa de gás é um tipo de monitoramento conveniente e preciso de vários gases que fluem na tubulação sem compensação de temperatura e pressão. O medidor de fluxo de massa de gás térmico é um novo tipo de instrumento de medição e monitoramento de fluxo. O medidor de vazão mássica de gás adota o princípio da difusão térmica, e a tecnologia de difusão térmica é uma tecnologia com excelente desempenho e alta confiabilidade em condições adversas. Seus elementos sensores típicos incluem duas resistências térmicas (RTDs de platina), uma é um sensor de velocidade e a outra é um sensor de temperatura que compensa automaticamente as mudanças na temperatura do gás. Quando dois RTDs são colocados em um meio, onde o sensor de velocidade é aquecido a uma temperatura constante acima da temperatura ambiente, o outro sensor de temperatura é usado para detectar a temperatura do meio. O fluxo de massa de gás através do sensor de velocidade é calculado a partir da quantidade de calor transferida através do elemento sensor. À medida que a vazão de gás aumenta, o calor retirado pelo meio aumenta. A temperatura do sensor é reduzida de acordo. Para manter a temperatura constante, é necessário aumentar a corrente de operação através do controlador de vazão mássica, e a parte aumentada da corrente é proporcional à vazão do meio.

No escritório, vários são considerados essenciais, pois são usados ​​para realizar tarefas específicas. Entre eles, o medidor de vazão mássica, o fabricante do medidor de vazão vórtice e o medidor de vazão mássica Coriolis da Endress Hauser são amplamente utilizados.

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