Les débitmètres peuvent être utilisés pour contrôler divers gaz propres et secs, notamment les gaz corrosifs et les gaz spéciaux. Cependant, pour l'utilisation de ces gaz, un choix judicieux du modèle et des matériaux d'étanchéité est nécessaire. Lors de la commande, l'utilisateur doit fournir des instructions spécifiques au fournisseur concernant l'utilisation du gaz, afin d'éviter des pertes importantes dues à un mauvais choix ou au choix du matériau d'étanchéité. Généralement, le régulateur de débit massique en contact avec le gaz de travail est en acier inoxydable 316L, et les matériaux d'étanchéité sont le métal soudé, le polytétrafluoroéthylène et le caoutchouc fluoré ordinaire. Le MFC avec joint métallique soudé peut être utilisé avec n'importe quel gaz, y compris divers gaz corrosifs et spéciaux. Pour les gaz fortement corrosifs tels que le tribromure de bore, le trichlorure de bore et le fluorure d'hydrogène, ainsi que les gaz d'oxydes métalliques utilisés en MOCVD, il est recommandé d'utiliser un MFC avec joint métallique soudé. Le régulateur de débit massique est composé d'un capteur de débit, d'un canal diviseur de débit, d'une vanne de régulation de débit et d'un régulateur d'amplification. Le capteur de débit massique utilise le principe de la calorimétrie thermoélectrique à transfert de chaleur capillaire pour mesurer le débit massique d'un gaz (sans compensation de température ni de pression). Le signal de débit mesuré par le pont chauffant du capteur est transmis à l'amplificateur pour amplification. La tension de détection de débit amplifiée est comparée à la tension de consigne. Le signal différentiel est ensuite amplifié pour commander et ajuster la vanne. Le débit traversant le canal est régulé en boucle fermée pour atteindre la tension de consigne. Les débits de consigne sont égaux. Le diviseur de débit détermine le débit dans le canal principal. L'instrument d'affichage de débit associé au débitmètre massique est équipé d'une alimentation stabilisée, d'un voltmètre numérique, d'un potentiomètre de réglage, d'équipements périphériques, d'un convertisseur interne et d'un commutateur de commande de vanne à trois positions. Le débitmètre massique de gaz permet une surveillance pratique et précise de divers gaz circulant dans une canalisation, sans compensation de température ni de pression. Le débitmètre massique de gaz thermique est un nouvel instrument de mesure et de surveillance du débit. Il adopte le principe de diffusion thermique, une technologie offrant d'excellentes performances et une grande fiabilité dans des conditions difficiles. Ses éléments de détection typiques comprennent deux résistances thermiques (RTD en platine) : un capteur de vitesse et un capteur de température qui compense automatiquement les variations de température du gaz. Lorsque deux RTD sont placés dans un milieu, le capteur de vitesse étant chauffé à une température constante supérieure à la température ambiante, l'autre capteur de température est utilisé pour mesurer la température du milieu. Le débit massique de gaz traversant le capteur de vitesse est calculé à partir du transfert de chaleur à travers l'élément de détection. À mesure que le débit de gaz augmente, la chaleur absorbée par le milieu augmente. La température du capteur est abaissée en conséquence. Pour maintenir cette température constante, il est nécessaire d'augmenter le courant de fonctionnement du régulateur de débit massique, l'augmentation du courant étant proportionnelle au débit du milieu.
Au bureau, plusieurs appareils sont considérés comme essentiels, car ils permettent d'accomplir des tâches spécifiques. Parmi ceux-ci, le débitmètre massique, le débitmètre vortex et le débitmètre massique Coriolis d'Endress+Hauser sont largement utilisés.
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