Parâmetros de aplicação do controlador de fluxo de massa de gás

Controlador de fluxo de massa de gás D07-9E Aplicação: O controlador de fluxo de massa (MFC) é usado para medir e controlar com precisão o fluxo de massa de gás. Amplamente utilizado em equipamentos de processo eletrônico, revestimento a vácuo, petroquímica, metalurgia, farmacêutica, fusão de fibras ópticas, instrumentos de análise e medição, produção e distribuição de gás e outras indústrias. Parâmetros técnicos do controlador de fluxo de massa de gás D07-9E: Modelo do produto D07-9E Tipo de produto Tipo comum Faixa de fluxo 20slm, 30slm, 50slm, 100slm, 150slm, 200slm, 250slm Precisão do produto ± 2% FS Repetibilidade ± 0,2% FS linear ± 1% FS tempo de resposta ≤ 4 seg faixa de temperatura de trabalho (5 ~ 45) ° C Pressão 3 MPa Material de vedação Borracha de flúor Viton, neoprene (borracha resistente à amônia) Neoprene Sinal de entrada e saída (0 ~ 5) VCC Fonte de alimentação ± 15 V Tipo de válvula Normalmente fechada Coeficiente de temperatura - Nenhum - Índice de deslocamento zero - Nenhum - Conexão elétrica D sub 15 pinos macho Faixa diferencial de pressão de trabalho (0,05 ~ 0,30) MPa (20slm ≤ FS ≤ 30slm), (0,10～0,30) MPa (50slm m≤FS≤150slm), (0,15～0,30) MPa (200slm≤FS≤250slm) Taxa de vazamento 1×10-8atm•cc/seg He (1×10-9Pa•m3 / seg He) Conector padrão Formato VCR1/2”, Conjunto de cartão duplo 1/2”, Conjunto de cartão duplo 1/4”(faixa completa≤60slm), conjuntos de cartão duploΦ12, conjunto de cartão duploΦ6 (escala completa≤60slm), conjuntos de cartão duploΦ8 (escala completa≤200slm), conjuntos de cartão duploΦ10 Composição química da superfície - Nenhuma - Rugosidade da superfície - Nenhuma - Resistência à interferência eletromagnética - Nenhuma - Peso 2,6 kg