معلمات تطبيق وحدة التحكم في تدفق كتلة الغاز

وحدة تحكم تدفق كتلة الغاز D07-9E. التطبيقات: تُستخدم وحدة تحكم تدفق الكتلة (MFC) لقياس تدفق كتلة الغاز والتحكم فيه بدقة. تُستخدم على نطاق واسع في معدات المعالجة الإلكترونية، والطلاء الفراغي، والبتروكيماويات، والمعادن، والأدوية، وصهر الألياف الضوئية، وأجهزة التحليل والقياس، وإنتاج وتوزيع الغاز، وغيرها من الصناعات. D07-9E وحدة تحكم تدفق الغاز الكتلي المعايير الفنية: طراز المنتج D07-9E نوع المنتج النوع الشائع نطاق التدفق 20slm، 30slm، 50slm، 100slm، 150slm، 200slm، 250slm دقة المنتج ± 2% تكرار FS ± 0.2% خطي FS ± 1% زمن استجابة FS ≤ 4 ثوانٍ نطاق درجة حرارة التشغيل (5~45) درجة مئوية الضغط 3 ميجا باسكال مادة الختم مطاط الفلور فيتون، نيوبرين (مطاط مقاوم للأمونيا) نيوبرين إشارة الإدخال والإخراج (0~5) فولت تيار مستمر مصدر الطاقة ± 15 فولت نوع الصمام مغلق عادةً معامل درجة الحرارة - لا شيء - صفر مؤشر التحول - لا شيء - التوصيل الكهربائي D sub 15 pins ذكر ضغط العمل التفاضلي النطاق (0.05～0.30) ميجا باسكال (20slm ≤FS ≤30slm)، (0.10～0.30) ميجا باسكال (50slm م ≤FS ≤150slm)، (0.15～0.30) ميجا باسكال (200slm ≤FS ≤250slm) معدل التسرب 1×10-8atm•cc/sec He (1×10-9Pa•m3/sec He) شكل الموصل القياسي VCR1/2"، مجموعة بطاقات مزدوجة 1/2"، مجموعة بطاقات مزدوجة 1/4"(نطاق كامل ≤60slm)، مجموعات بطاقات مزدوجةΦ12، مجموعة بطاقات مزدوجةΦ6 (نطاق كامل ≤60slm)، مجموعات بطاقات مزدوجةΦ8 (نطاق كامل ≤200slm)، مجموعات بطاقات مزدوجةΦ10 التركيب الكيميائي للسطح - لا شيء - خشونة السطح - لا شيء - مقاومة التداخل الكهرومغناطيسي - لا يوجد - الوزن 2.6 كجم