Технология измерения нескольких газов

1. Регуляторы массового расхода газа используют широкий спектр газов, и разные клиенты предъявляют разные требования к газу, а многие газы в полупроводниковой промышленности являются токсичными или огнеопасными и взрывоопасными газами. При калибровке регулятора расхода, чтобы упростить производство и обеспечить реализуемость и безопасность, невозможно использовать реальные газы для калибровки. Поэтому крайне необходимо создать газовую калибровочную платформу, которая может предоставить различные основные газы (N2, H2, He, SF6 и т. д.) в соответствии с характеристиками сжатия газа. Для других газов, на основе измерения этих основных газов, фактический расход может быть получен с помощью коэффициентов преобразования. N2 чаще всего используется в качестве замещающего газа и умножается на коэффициент преобразования (коэффициент преобразования между калиброванным целевым газом и азотом может быть измерен экспериментальными методами) для калибровки. 2. Основной принцип преобразования газа Коэффициент преобразования расхода газа теоретически зависит от плотности и удельной теплоемкости газа в стандартном состоянии, а также от коэффициента молекулярного состава газа. Коэффициент преобразования обычно используемого однокомпонентного газа можно найти в техническом руководстве производителя продукта; если известны плотность и удельная теплоемкость газа, его также можно рассчитать по следующей базовой формуле. Основная формула коэффициента преобразования массового расхода газа C: C=0,3106 Н/ρ(Cp) из которых: ρ — плотность газа CP — удельная теплоемкость газа при постоянном давлении N — коэффициент состава молекул газа (относится к составу молекул газа, см. таблицу ниже) Таблица 1 Таблица коэффициентов состава молекул газа Пример состава молекул газа Значение N одноатомная молекула ArHe 1,01 двухатомная молекула CON2 1,00 трехатомная молекула CO2NO2 0,94 и более Атомарная молекула NH3C4H8 0,88 Если это многокомпонентный смешанный газ (предполагается, что он состоит из n видов газов), его коэффициент преобразования C рассчитывается по следующей формуле: 0,3106 [N1 (ω1/ωT )+N2 (ω2/ωT ) +··· + Nn (ωn/ωT )] C =——————————————————————————ρ1Cp1 (ω1/ωT )+ρ2Cp2 (ω2/ωT )+··· +ρnCpn (ωn/ωT) где: ω1…ωn —— ... В то же время, в сочетании с технологией цифровых продуктов, один продукт может быть оснащён возможностью использования различных газов, что решает проблему широкого спектра газов, используемых в полупроводниковой промышленности. Это также значительно снижает для заказчика сложность управления запасами и управления ими.