تكنولوجيا قياس الغازات المتعددة

١. معلومات أساسية: تستخدم وحدات تحكم تدفق كتلة الغاز مجموعة متنوعة من الغازات، وتختلف متطلبات العملاء منها، كما أن العديد من الغازات في صناعة أشباه الموصلات سامة أو قابلة للاشتعال أو متفجرة. عند معايرة وحدة التحكم في التدفق، ولتسهيل الإنتاج وضمان سهولة التنفيذ والسلامة، يستحيل استخدام غازات فعلية للمعايرة. لذلك، من الضروري للغاية إنشاء منصة معايرة غازات توفر مجموعة متنوعة من الغازات الأساسية (N2، H2، He، SF6، إلخ) وفقًا لخصائص ضغط الغاز. بالنسبة للغازات الأخرى، وبناءً على قياس هذه الغازات الأساسية، يمكن الحصول على معدل التدفق الفعلي بواسطة معاملات التحويل. يُستخدم N2 غالبًا كغاز بديل، ويُضرب في معامل التحويل (يمكن قياس معامل التحويل بين الغاز المستهدف المُعاير والنيتروجين بالطرق التجريبية) للمعايرة. ٢. المبدأ الأساسي لتحويل الغازات: يعتمد معامل تحويل تدفق الغاز نظريًا على كثافته وحرارته النوعية في الحالة القياسية، بالإضافة إلى معامل تركيبه الجزيئي. يمكن الاطلاع على معامل تحويل الغاز أحادي المكون الشائع الاستخدام في الدليل الفني للمنتج الخاص بالشركة المصنعة؛ وإذا عُرفت كثافة الغاز وحرارته النوعية، يُمكن حسابهما أيضًا بالصيغة الأساسية التالية. الصيغة الأساسية لمعامل تحويل تدفق كتلة الغاز C: C=0.3106 N / ρ(Cp) منها: ρ——هي كثافة الغاز CP——هي الحرارة النوعية للغاز عند الضغط الثابت N——هو معامل تكوين جزيئات الغاز (مرتبط بتكوين جزيئات الغاز، انظر الجدول أدناه) الجدول 1 جدول معامل تكوين جزيء الغاز مثال على تكوين جزيء الغاز قيمة N الجزيء أحادي الذرة ArHe 1.01 الجزيء ثنائي الذرة CON2 1.00 الجزيء ثلاثي الذرة CO2NO2 0.94 أكثر الجزيء الذري NH3C4H8 0.88 إذا كان غازًا مختلطًا متعدد المكونات (يُفترض أنه يتكون من n نوعًا من الغازات)، يتم حساب معامل تحويله C وفقًا للصيغة التالية: 0.3106 [N1 (ω1/ωT )+N2 (ω2/ωT ) +··· + Nn (ωn/ωT )] C =———————————————————————————theρ1Cp1 (ω1/ωT )+ρ2Cp2 (ω2/ωT )+·· +ρnCpn (ωn/ωT) حيث: ω1…ωn——هو معدل تدفق الغاز المقابل ωT——هو معدل تدفق الغاز المختلط ρ1…ρn——هي كثافة الغاز المقابل (انظر مواصفات المنتج للقيمة) CP1…CPn——هي الحرارة النوعية للضغط الثابت للغاز المقابل (انظر المواصفات الفنية للمنتج للقيمة) N1… Nn——هو معامل التركيب الجزيئي للغاز المقابل. ملاحظة: إذا لم تكن نسبة خلط الغاز المختلط ثابتة، فلا يمكن حساب معامل التحويل. 3. تطبيق معامل الغاز يمكن أن تقلل طريقة معامل الغاز بشكل كبير من صعوبة معايرة واستخدام منتجات الغاز المتعددة. في الوقت نفسه، وبفضل تقنية المنتجات الرقمية، يُمكن تجهيز منتج واحد باستخدام غازات متنوعة، مما يُسهم في حل مشكلة تنوع الغازات المستخدمة في صناعة أشباه الموصلات. كما يُقلل هذا بشكل كبير من صعوبة إدارة المخزون لدى العميل.