Princípio do medidor de vazão mássica (MFC) e como escolher e usar

Resumo: O princípio do medidor de vazão mássica (MFC) e como escolher e utilizar as informações são fornecidos por excelentes fabricantes de medidores de vazão e fabricantes de medidores de vazão. Em aplicações de revestimento a vácuo, alguns gases são usados ​​para auxiliar na realização do processo desejado, mas como controlar a vazão e como controlá-la? É isso que vamos explicar. Primeiramente, o que é um medidor de vazão mássica (MFC)? Medidor de vazão mássica, ou seja, Medidor de Vazão Mássica (encolhimento. Mais fabricantes de medidores de vazão escolhem modelos e cotações de preços. Você está convidado a perguntar. O seguinte é o princípio do medidor de vazão mássica (MFC) e como escolhê-lo. Use os detalhes do artigo. Na aplicação de revestimento a vácuo, alguns gases são usados ​​para auxiliar na realização do processo que desejamos, mas o tamanho do fluxo e como controlá-lo? Isso é o que queremos dizer a você. Primeiro de tudo, o que é um medidor de vazão mássica (MFC)? O medidor de vazão mássica, ou seja, Medidor de Vazão Mássica (abreviado como MFM), é um tipo de instrumento que mede com precisão o fluxo de gás, e seu valor de medição não está desalinhado devido a flutuações de temperatura ou pressão, e não requer compensação de temperatura e pressão. O controlador de vazão mássica, ou seja, Controlador de Vazão Mássica (abreviado como MFC), não só tem a função de medidor de vazão mássica , mas mais importante, ele pode controlar automaticamente o fluxo de gás, ou seja, os usuários podem definir o fluxo de acordo com suas necessidades, e o MFC mantém automaticamente o fluxo constante no valor definido. , mesmo que a pressão do sistema flutue ou a temperatura ambiente mude, isso não fará com que se desvie do valor definido. Simplificando, o controlador de fluxo de massa é um dispositivo de fluxo constante, que é um gás que pode ser definido manualmente ou controlado automaticamente por uma conexão de computador. Dispositivo de fluxo constante. Quais são as principais vantagens dos medidores de fluxo de massa/controladores de fluxo de massa? (1) A medição e o controle do fluxo não são imprecisos devido a flutuações de temperatura ou pressão. Para a maioria dos sistemas de medição e controle de fluxo, é difícil evitar flutuações sistemáticas de pressão e mudanças de temperatura do ambiente e do meio. Para medidores de fluxo comuns, as flutuações de pressão e temperatura causarão grandes erros; para medidores de fluxo de massa/controladores de fluxo de massa, elas geralmente podem ser ignoradas. (2) Controle de medição O medidor de fluxo de massa automático/controlador de fluxo de massa pode emitir o valor de medição de fluxo como uma saída de sinal elétrico padrão. É fácil realizar a exibição digital do fluxo, a medição automática do fluxo cumulativo, o registro automático de dados, o gerenciamento de computador, etc. Para o controlador de fluxo de massa, o Ele também pode realizar o fluxo automático Controle. Normalmente, os sinais de entrada e saída do MFC/MFM analógico são de 0 a +5 V ou 4 a 20 mA, e o MFC/MFM digital também é equipado com porta de comunicação serial digital RS232 ou RS485, o que pode ser muito conveniente. Ele é conectado ao computador para controle automático. (3) Controle quantitativo preciso do fluxo O controlador de fluxo de massa pode controlar com precisão a quantidade de gás fornecida, o que é particularmente útil para o controle de fluxo de muitos processos tecnológicos e o controle proporcional de diferentes gases. (4) Ampla faixa de aplicação e ampla faixa de pressão de trabalho, nossos produtos podem variar de vácuo a 10 MPa; podem ser aplicados a uma variedade de meios gasosos (incluindo alguns gases corrosivos, como HCL); têm uma ampla faixa de fluxo, nossa faixa de fluxo mínima do produto pode atingir 0 a 5 sccm, e a faixa de fluxo máxima pode atingir 0 a 200 slm. A resolução da exibição de fluxo pode atingir 0,1% da escala completa, e a faixa de controle de fluxo é de 2 a 100% da escala completa (a relação de redução é de - - 50:1), por isso é amplamente utilizado em muitos campos. Qual é o conceito da faixa de diferencial de pressão de trabalho do controlador de fluxo de massa? Uma válvula reguladora de fluxo de gás é definida no controlador de fluxo de massa (MFC), que pode ajustar o fluxo através do controlador de zero até a escala completa da medição. Durante o processo de trabalho, há uma queda de pressão de ar entre a entrada e a saída do controlador, ou seja, a pressão diferencial. A faixa de diferença de pressão de trabalho do MFC é geralmente de 0,1 ~ 0,3 MPa. Se a diferença de pressão for menor que o valor mínimo (0,1 MPa), ele pode não ser capaz de controlar o valor da escala completa; se for maior que o valor máximo (0,3 MPa), ele pode ser fechado. Não inferior a 2% FS Quando o usuário usa o MFC, não importa se a câmara de reação em que o usuário trabalha é de vácuo ou alta pressão, a diferença de pressão entre as extremidades de entrada e saída do MFC deve ser mantida dentro da faixa de diferença de pressão necessária, e a pressão do ar deve ser relativamente estável. Usando vapor de evaporação de líquido volátil, A pressão do ar é muito baixa. Como personalizar o produto de baixa queda de pressão do controlador de fluxo de massa? Alguns usuários utilizam vapor de evaporação de líquido volátil como fonte de gás (como acetona, etc.). A pressão do ar é muito baixa e o MFC comum é utilizado, o que não permite o funcionamento normal. Nesse caso, o usuário precisa fazer uma declaração especial ao fornecedor para personalizar o controlador de fluxo de massa com baixa queda de pressão. Normalmente, o MFC com diferença de pressão de trabalho inferior a 0,01 MPa pode ser personalizado. Nesse caso, a faixa de diferença de pressão de trabalho do MFC também será menor.

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