Quels sont les types de régulateurs de débit massique ?

Le régulateur de débit massique (MassFlowController, abrégé en MFC) permet de mesurer et de réguler avec précision le débit massique d'un gaz ou d'un liquide. Il est largement utilisé dans les domaines du revêtement sous vide, de la fusion de fibres optiques, des dispositifs de microréaction, des systèmes de distribution de gaz mixtes, des chromatographes en phase gazeuse à mesure capillaire, de la fabrication de fibres optiques et autres équipements. Il est également utilisé dans les industries pétrochimique, métallurgique et pharmaceutique, entre autres. Les régulateurs de débit massique sont généralement classés selon les types suivants : 1. Débitmètre volumétrique — Également appelé débitmètre à déplacement fixe. Il utilise un élément de mesure mécanique pour diviser en continu le fluide en une partie volumique connue et mesure le débit volumique du fluide en fonction du nombre de remplissages et de vidanges de la chambre de mesure. 2. Rotamètre — Également appelé rotamètre, il s'agit d'un débitmètre à section variable. Dans un tube conique vertical qui se dilate de bas en haut, la gravité du flotteur de section circulaire est supportée par la force du liquide, ce qui permet au flotteur de s'écouler librement dans le tube conique. 3. Débitmètre à pression différentielle : instrument qui calcule le débit en fonction de la pression différentielle générée par le dispositif de détection de débit installé dans la canalisation, des conditions connues du fluide et de la taille de la chambre de détection et de la canalisation. 4. Débitmètre à vortex : un générateur de vortex à ellipse est placé dans le fluide, et le fluide se sépare alternativement de part et d'autre du générateur pour libérer deux chaînes d'instruments à vortex régulièrement décalés. 5. Débitmètre à turbine : principal type de débitmètre à vitesse, il utilise un rotor multipale (turbine) pour mesurer la vitesse moyenne d'écoulement du fluide, déduisant ainsi le débit ou la quantité totale de l'instrument. 6. Débitmètre à ultrasons : instrument qui mesure le débit en détectant l'effet de l'écoulement du fluide sur un faisceau d'ultrasons (ou une impulsion d'ultrasons). 7. Débitmètre électromagnétique : un débitmètre électromagnétique est un instrument de mesure des liquides conducteurs fabriqué selon la loi de Faraday sur l'induction électromagnétique. Le débitmètre électromagnétique présente d'excellentes caractéristiques, permettant de résoudre les problèmes complexes rencontrés par les autres débitmètres, tels que la mesure des débits encrassés et corrosifs. 8. Débitmètre thermique : les capteurs de débitmètre thermique comportent deux éléments de détection, un capteur de débit et un capteur de température. Ils compensent et corrigent automatiquement les variations de température du gaz. Le chauffage électrique de l'instrument chauffe le capteur de vitesse à une valeur supérieure à la température de fonctionnement, créant ainsi une différence de température constante entre le capteur de vitesse et le capteur mesurant la température de fonctionnement. Lorsque cette différence de température est maintenue constante, l'énergie consommée par le chauffage électrique, ou la valeur de dissipation thermique, est proportionnelle au débit massique du gaz qui le traverse. Il convient à la mesure de gaz monocomposants et de gaz multicomposants à proportion fixe.

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